半導體行業(yè)
半導體行業(yè)碳化硅長(cháng)晶爐應用案例
發(fā)布日期：2024-09-12
物理氣相傳輸法（PVT）是制備碳化硅（SiC）晶體的主流方法之一，PVT法生長(cháng)SiC單晶，溫度高達2300℃，生長(cháng)過(guò)程需嚴格控制生長(cháng)溫度梯度，其溫度控制系統為閉環(huán)控制，由紅外測溫儀、溫控器、加熱電源以及加熱器（感應線(xiàn)圈）組成。
系統框圖：
宇電AI系列人工智能調節器
1、AI-8x9系列
2、AI-MODBUS-TCP1-24VDC
成功應用于國內某半導體裝備制造頭部企業(yè)碳化硅長(cháng)晶爐，該系統溫度的精確控制，儀表兼容多類(lèi)型輸入/輸出規格，具備可調的控制周期及報警功能，通訊兼容RS485及RS232，且可匹配外部TCP模塊實(shí)現MODBUS-TCP便捷通訊。
溫度控制效果：
溫度控制效果：溫度波動(dòng)≤±0.5℃@2200℃，溫度超調、穩定時(shí)間等指標均與英國競品水平相當，經(jīng)終端客戶(hù)驗證，可完全平替國外競品，成功實(shí)現國產(chǎn)替代。